Антиэмиссионное покрытие на основе карбида циркония

Основным требованием при формировании антиэмиссионного интерметаллического соединения Pt$_{3}$Zr является наличие стехиометрического слоя карбида циркония ZrC, получаемого с помощью вакуумно-дугового источника плазмы. Показана возможность получения покрытия ZrC в процессе отжига в вакууме многослоевого покрытия, состоящего из последовательно напыленных из плазмы вакуумно-дугового разряда нанослоев циркония (Zr), карбида циркония переменного состава (ZrC$_{1-x}$) и карбида циркония с избыточным содержанием углеродной фазы (ZrC + C).