Структурообразование наносистем цинка при использовании мембран АОА

Предложен способ получения наносистем Zn при конденсации слабопересыщенных паров на систему мембрана анодно-окисленного алюминия (АОА) – подложка (Si). Для эффективного проникновения паров Zn в глубь пор АОА параллельно образующим пор формировался направленный паровой поток, при этом температура внешней поверхности мембраны была выше температуры подложки. Слабые паровые потоки получены при магнетронном распылении Zn в высокочистой инертной среде. Определены оптимальные условия формирования наносистем Zn в виде массива упорядоченных островков на поверхности подложки и связанных нанонитей на поверхности мембраны.