Определение формы инденторов нанотвердомеров интерферометрическим способом

Предложен способ определения функций площади поверхности алмазных инденторов нанотвердомеров с помощью метрологического атомно-силового микроскопа с трехкоординатным лазерным интерферометром. Были проведены измерения формы граней ряда инденторов типа пирамиды Берковича. Точность измерения координат точек поверхности индентора составила 1 nm. Показано, что в процессе использования инденторов происходит изменение формы их вершины, в частности на первых 100 nm отклонение от идеальной пирамидальной формы может превышать 30 nm. Таким образом, одним из способов верификации функции площади поверхности индентора может быть периодическая поверка инденторов на метрологическом атомно-силовом микроскопе.