Френелевская оптика нанометрового диапазона из монокристаллического кремния

А. В. Давыдов, A. И. Ерко, Л. А. Панченко, С. В. Редькин, Г. Д. Сазонова, В. А. Юнкин

Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов АН СССР

Поступила в редакцию: 26.04.1987

Реферативные базы данных:

•