Плазменно-иммерсионное формирование высокоинтенсивных ионных пучков

Впервые экспериментально показана возможность формирования высокоинтенсивных пучков ионов металлов и газов низкой энергии. Применение гибридной системы формирования ионного пучка, включающей плазменно-иммерсионную экстракцию и ускорение ионов, их последующую баллистическую фокусировку в эквипотенциальном пространстве с обеспечением нейтрализации пространственного заряда пучка, дало возможность импульсно-периодического формирования пучков ионов титана и азота с плотностью ионного тока более 1 A/cm$^{2}$ и импульсной плотностью мощности 2.6 kW/cm$^{2}$.