Емкостные свойства структур на основе мезопористого кремния, облученного малыми дозами гамма-излучения

Исследовано влияние гамма-излучения малых доз на емкостные свойства структур на основе мезопористого кремния. По вольт-фарадным характеристикам на различных частотах тестирующего сигнала найдено распределение концентрации оборванных заряженных связей по глубине слоя, которое изменяется с облучением. Показано уменьшение концентрации и времени релаксации поверхностных заряженных состояний в структуре со слоем мезопористого кремния при гамма-облучении, что делает перспективным материал для применения в приборах с управляемой реактивностью (варакторах), стойких к гамма-облучению.