Управление массопереносом легирующей примеси при зонной сублимационной перекристаллизации кремния

Л. Н. Александров, С. В. Лозовский, С. Ю. Князев

Новочеркасский политехнический институт им. С. Орджоникидзе

Поступила в редакцию: 06.04.1987

Реферативные базы данных:

•