Аннотация:
Предложен новый способ введения углерода в металлические каталитические пленки для синтеза графена. Способ основан на явлении имплантации атомов отдачи углерода из слоя молекул метана, адсорбированных на металлической пленке, при облучении такой структуры ионами инертных газов. Для увеличения толщины адсорбированного слоя метана образцы охлаждались до температуры -190$^\circ$C. Этот метод был реализован на поликристаллической пленке никеля. После отжига на поверхности никелевой пленки методом рамановской спектроскопии обнаружены многочисленные фрагменты многослойного графена.