А. С. Рудый, С. В. Васильев, М. Е. Лебедев, А. В. Метлицкая, А. А. Мироненко, В. В. Наумов, А. В. Новожилова, И. С. Федоров, А. Б. Чурилов, “Экспериментальное исследование тонких пленок твердого электролита фосфор-оксинитрида лития”, Письма в ЖТФ, 2017, том 43, выпуск 11,страницы 3

Эта публикация цитируется в 2 статьях

Экспериментальное исследование тонких пленок твердого электролита фосфор-оксинитрида лития

А. С. Рудый^ab, С. В. Васильев^ab, М. Е. Лебедев^b, А. В. Метлицкая^ab, А. А. Мироненко^b, В. В. Наумов^b, А. В. Новожилова^ab, И. С. Федоров^b, А. Б. Чурилов^ab

^a Ярославский государственный университет им. П. Г. Демидова
^b Ярославский филиал Физико-технологического института РАН

Аннотация: Представлены результаты исследования тонкопленочных образцов твердого электролита LiPON, полученных методом магнетронного нанесения. Приведены данные о морфологии, структуре, элементном и фазовом составе пленок LiPON и результаты исследования их электрофизических параметров.

Поступила в редакцию: 27.12.2016

DOI: 10.21883/PJTF.2017.11.44690.16637