Формирование упорядоченных нано- и мезоструктур в кремнии при однократном воздействии фемтосекундного лазерного импульса в различных внешних средах

Сообщается о формировании нового класса упорядоченных нано- и мезоструктур, включая особые структурированные области с субнаноразмерной шероховатостью, образующиеся при однократном воздействии на поверхность монокристаллического кремния остросфокусированных фемтосекундных лазерных импульсов в различных внешних средах. Показано, что существенное влияние на конечную морфологию приповерхностных слоев кремния оказывает внешняя среда.