Нейросетевой метод восстановления начального профиля концентрации примеси при ионном послойном анализе

Предлагается новый подход к решению задачи восстановления концентрационного профиля примеси при ионном послойном анализе. Алгоритм восстановления профиля основан на использовании искусственной нейронной сети. Входные значения для сети – поверхностные концентрации примеси в последовательные моменты времени послойного анализа. Искусственная нейронная сеть натренирована на разные толщины примесного слоя и глубины его залегания, а также на разные значения параметров используемого в данной модели диффузионно-подобного уравнения ионного перемешивания.