Особенности фазовых переходов в процессе наносекундного лазерного отжига кремния

С. П. Жвавый, О. Л. Садовская

Институт электроники АН БССР, Минск

Поступила в редакцию: 31.01.1987
Исправленный вариант: 18.05.1987

Реферативные базы данных:

•