Роль кристаллографической анизотропии в формировании структуры имплантированных слоев монокристаллов NiTi

Методом оже-электронной спектроскопии и просвечивающей электронной микроскопии исследованы состав и структура имплантированных слоев Si монокристаллов NiTi, различно ориентированных относительно направления ионно-пучкового воздействия. Выявлена роль “мягкой” [111]$_{\mathrm{B2}}$ и “жесткой” [001]$_{\mathrm{B2}}$ ориентаций NiTi в формировании структуры ионно-модифицированного поверхностного слоя, а также дефектной структуры приповерхностных слоев монокристаллов.