Структура и диэлектрические свойства тонких пленок цирконата-титаната бария, полученных ВЧ магнетронным распылением

Субмикронные тонкие слои BaZr$_{x}$Ti$_{1-x}$O$_{3}$ in situ выращены методом ВЧ магнетронного распыления керамической мишени ($x$ = 0.50) на подложке Pt/$r$-срез лейкосапфира Al$_{2}$O$_{3}$. Показано, что состав сегнетоэлектрического слоя не соответствует составу распыляемой мишени и сдвигается в сторону цирконата бария. Обсуждаются причины подобного поведения. Полученные образцы характеризуются высокими пробивными напряжениями (1 MV/cm и выше). Исследованы структурные и высокочастотные диэлектрические свойства, выявлена высокая управляемость емкости тонких слоев.