Формирование микрорельефа методом термического окисления пленок молибдена

Исследуется возможность формирования микрорельефа дифракционных оптических элементов путем термического окисления тонких пленок молибдена. Показано, что в процессе термического окисления прирост толщины исходной пленки может достигать трехкратного значения. При этом сохраняется оптическое качество поверхности.