Структурные перестройки в облученном ионами кремнии, стимулированные реакцией силицидообразования

С. В. Васильев, Н. Н. Герасименко, В. В. Калинин

Институт физики полупроводников СО АН СССР, Новосибирск

Поступила в редакцию: 23.07.1987

Реферативные базы данных:

•