Отражение ограниченных пучков экстремального ультрафиолетового излучения от многослойных зеркал

На основе двумерных уравнений дифракции для медленно меняющихся амплитуд исследовано влияние размера пучка на отражение экстремального ультрафиолетового излучения от многослойного зеркала. Рассмотрены граничные условия задачи дифракции в случае геометрической оптики и приближения Френеля. Показаны результаты численного моделирования карт интенсивности отражения в обратном пространстве, а также их $q_z$-сечений в зеркальном направлении.