RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Письма в Журнал технической физики // Архив

Письма в ЖТФ, 2024, том 50, выпуск 2, страницы 36–39 (Mi pjtf6592)

Особенности морфологии поверхности тонких проводящих пленок оксидов индия и олова, полученных методом лазерно-ориентированного осаждения

А. С. Тойккаab, Н. В. Каманинаabc

a Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В. И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
b Петербургский институт ядерной физики им. Б.П. Константинова, Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт"
c Всероссийский научный центр "Государственный оптический институт им. С. И. Вавилова", Санкт-Петербург, Россия

Аннотация: Исследовано влияние напряженности управляющего электрического поля на свойства поверхности лазерно-осажденных тонких пленок на основе оксидов индия и олова (ITO). Показано, что с ростом напряженности управляющего поля снижается шероховатость покрытий с 3.4 до 0.4 nm. При смачивании каплями дистиллированной воды установлено, что в образцах, осаждавшихся при поле $E$ = 0 V/cm, реализуется состояние Касси–Бакстера, при $E$ = 100 V/cm наблюдается переход в состояние Венцеля, а при дальнейшем росте напряженности электрического поля в процессе осаждения ITO проявляется динамика в направлении к модели идеально гладкой поверхности.

Ключевые слова: лазерно-ориентированное осаждение, оксиды индия и олова, прозрачные проводящие контакты.

УДК: 13.1;06.5

Поступила в редакцию: 08.09.2023
Исправленный вариант: 30.10.2023
Принята в печать: 01.11.2023

DOI: 10.61011/PJTF.2024.02.56982.19722



Реферативные базы данных:


© МИАН, 2025