RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Письма в Журнал технической физики // Архив

Письма в ЖТФ, 2024, том 50, выпуск 4, страницы 27–30 (Mi pjtf6611)

Полевой транзистор с графеновым каналом и эпитаксиальным слоем фторида кальция в роли подзатворного диэлектрика

Ю. Ю. Илларионовab, А. Г. Банщиковb, T. Knoblocha, И. А. Ивановb, T. Grassera, Н. С. Соколовb, М. И. Векслерb

a Институт микроэлектроники Технического университета Вены, Вена, Австрия
b Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург

Аннотация: Впервые изготовлены образцы полевых транзисторов для “двумерной” электроники на основе сочетания графена (материала канала) и эпитаксиального фторида кальция (изолирующего затвор материала). Измерены стандартные для приборов данного типа характеристики, подтвердившие работоспособность этих приборов. Исследование можно рассматривать как шаг к созданию транзисторов с новыми материалами, перспективными для дальнейшего масштабирования элементов. Одна из ближайших задач – снижение разброса характеристик приборных структур.

Ключевые слова: 2D-электроника, полевой транзистор, графен, фторид кальция.

Поступила в редакцию: 26.09.2023
Исправленный вариант: 26.09.2023
Принята в печать: 15.11.2023

DOI: 10.61011/PJTF.2024.04.57097.19739



Реферативные базы данных:


© МИАН, 2025