Распределение давления газовой среды в распылительной системе ионно-плазменного осаждения

Предложен метод определения величины давления газовой среды непосредственно в области дрейфа распыленных атомов мишени при ионно-плазменном осаждении тонких пленок. На примере распыления одноатомных мишеней титана и ниобия получены расчетные (моделирование методом Монте-Карло) и экспериментальные зависимости скорости их осаждения от давления рабочего газа. Сравнение этих результатов позволило определить распределение величины давления газовой среды в области дрейфа распыленных атомов мишень-подложка. Продемонстрировано радикальное различие между значениями показания датчика давления (0.6 Pa) и реальным скорректированным давлением (от 5 Pa в зоне распыления мишени до 1 Pa в зоне осаждения на подложке).