Исследование влияния термообработки и электронагрузки на основные характеристики тонкопленочных термисторов со слоевой структурой

Методом магнетронного напыления создан слоевой вариант термистора, в котором рабочий слой полупроводниковой пленки шпинельной фазы наносится на предварительно сформированную на подложке поликора металлическую пленку, образующую внутренний электрод. Исследовано влияние режимов термообработки и электронагрузки на основные характеристики полученных термисторов. Установлено, что переход к слоевой структуре позволяет получить чип-термисторы с сопротивлением менее 100 $\Omega$ с сохранением высокой температурной нелинейности сопротивления. После температурной обработки при 400–500$^\circ$C термисторы приобретают на два-три порядка большее сопротивление и ярко выраженную полевую нелинейность, определяющую сильную зависимость сопротивления от приложенного напряжения. Образцы термисторов с внутренним электродом из Ni и особенно из NiCr после отжига при 500$^\circ$C проявляют высокую устойчивость к экстремальным электрическим нагрузкам в единицы ватт.