Наблюдение дифракции рентгеновского излучения на многослойной структуре, модулированной акустической волной

В. В. Аристов, Г. В. Верещагин, A. И. Ерко, Л. А. Матвеева, Д. В. Рошупкин

Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов АН СССР

Поступила в редакцию: 22.06.1987

Реферативные базы данных:

•