Г. А. Жабин, О. В. Пелипец, Н. А. Шарапов, “Влияние условий магнетронного распыления при осаждении покрытий (BaSrCa)CO$_3$ на термоэлектронную эмиссию пленочных микрокатодов”, Письма в ЖТФ, 2024, том 50, выпуск 11,страницы 38

Влияние условий магнетронного распыления при осаждении покрытий (BaSrCa)CO$_3$ на термоэлектронную эмиссию пленочных микрокатодов

Г. А. Жабин, О. В. Пелипец, Н. А. Шарапов

НПП "Исток" им. Шокина, Фрязино, Московская обл., Россия

Аннотация: Экспериментально исследовано влияние температуры и мощности разряда ионно-плазменного осаждения молекулярно-напыленных оксидных микрокатодов на их эмиссионную активность. С применением оже-электронной спектроскопии и рентгенофлуоресцентного анализа изучен элементный состав тонкого покрытия таких микрокатодов. Продемонстрировано воздействие атмосферы и остаточных газов на их работу.

Ключевые слова: молекулярно-напыленный оксидный микрокатод, эмиссионные характеристики, срок службы, работа выхода, электровакуумный прибор.

Поступила в редакцию: 06.12.2023
Исправленный вариант: 22.02.2024
Принята в печать: 09.03.2024

DOI: 10.61011/PJTF.2024.11.57909.19827