Тонкие пленки твердофазного аморфного электролита из допированного азотом метафосфата лития с повышенной ионной проводимостью

В результате анодного испарения LiPO$_3$ в Ar/N$_2$-плазме дуги низкого давления (0.5 Pa) и осаждения паров на металлические подложки со скоростью 0.5 $\mu$m/h получены тонкие (1 $\mu$m) пленки аморфного твердого электролита в условиях регулируемой в широком диапазоне (0.1–0.9) доли свободного Li в парах. Показано, что ионная проводимость пленок достигает значений 1.7 $\cdot$ 10$^{-5}$ S/cm при комнатной температуре.