RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Письма в Журнал технической физики // Архив
Письма в ЖТФ, 2024, том 50, выпуск 21, страницы 29–32 (Mi pjtf6810)
Магнетронное распыление олова из жидкой фазы в режиме стабилизации тока

В. С. Булычевabc, А. Е. Дубиновac

a Российский федеральный ядерный центр — Всероссийский научно-исследовательский институт экспериментальной физики, Саров, Нижегородская обл., Россия
b Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана, Москва, Россия
c Саровский физико-технический институт – филиал Научно-исследовательского ядерного университета "МИФИ", Саров, Нижегородская обл., Россия

Аннотация: Продемонстрирована возможность работы магнетронной распылительной системы с жидкометаллическим катодом. Проведены эксперименты по распылению оловянного катода из жидкого состояния в режиме стабилизации тока. Дана оценка значения коэффициента катодного распыления олова при распылении из жидкого состояния.

Ключевые слова: магнетронный разряд, жидкий катод, олово, распыление.

Поступила в редакцию: 14.05.2024
Исправленный вариант: 25.06.2024
Принята в печать: 12.07.2024

DOI: 10.61011/PJTF.2024.21.58955.19990



Реферативные базы данных:

© МИАН, 2025