Спектроскопия обратнорассеянных ионов низких энергий с дополнительной масс-сепарацией: аппаратная реализация и интерпретация экспериментальных данных

Представлены результаты аппаратной реализации и применения метода совместного энергетического и масс-спектрального анализа обратнорассеянных и распыленных ионов. На примере трехкомпонентного ювелирного сплава, содержащего золото, серебро и медь, показано, что такой подход позволяет улучшить чувствительность метода за счет подавления фона распыленных ионов, а при использовании тяжелых ионов Ar$^+$ для образца La получить информацию о состоянии его поверхности, а также обнаружить двукратно ионизованные распыленные и рассеянные ионы аргона.