RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Письма в Журнал технической физики // Архив

Письма в ЖТФ, 2023, том 49, выпуск 2, страницы 10–13 (Mi pjtf6892)

GaN-полевой транзистор с эффективным теплоотводом на Si-подложке

В. М. Лукашин, А. Б. Пашковский, И. В. Пашковская

Государственное научно-производственное предприятие "Исток", Фрязино, Московская обл., Россия

Аннотация: Предложена простая конструкция полевого транзистора на основе GaN на Si-подложке с эффективным теплоотводом по слоям полиалмаза, сформированным на стенках заземляющих отверстий. По расчетам в результате введения такого теплоотвода при одинаковом среднем расстоянии между секциями затворов максимальная температура в канале GaN-транзистора на Si-подложке существенно уменьшается и становится сравнимой с максимальной температурой в канале GaN-транзистора на SiC-подложке.

Ключевые слова: GaN-полевой транзистор, заземляющее отверстие, температура канала, полиалмаз.

Поступила в редакцию: 27.07.2022
Исправленный вариант: 23.09.2022
Принята в печать: 09.11.2022

DOI: 10.21883/PJTF.2023.02.54278.19327



Реферативные базы данных:


© МИАН, 2025