Аннотация:
Предложена простая конструкция полевого транзистора на основе GaN на Si-подложке с эффективным теплоотводом по слоям полиалмаза, сформированным на стенках заземляющих отверстий. По расчетам в результате введения такого теплоотвода при одинаковом среднем расстоянии между секциями затворов максимальная температура в канале GaN-транзистора на Si-подложке существенно уменьшается и становится сравнимой с максимальной температурой в канале GaN-транзистора на SiC-подложке.
Ключевые слова:
GaN-полевой транзистор, заземляющее отверстие, температура канала, полиалмаз.
Поступила в редакцию: 27.07.2022 Исправленный вариант: 23.09.2022 Принята в печать: 09.11.2022