Ионно-плазменное осаждение многокомпонентных пленок с заданным законом распределения состава по толщине

Предложен метод ионно-плазменного осаждения тонких многокомпонентных пленок с возможностью управления составом по толщине (graded film) при изменении давления рабочего газа по заданному закону. На примере структуры типа перовскита Ba$_x$Sr$_{1-x}$TiO$_3$ получены расчетные (моделирование методом Монте-Карло) и экспериментальные зависимости компонентного состава пленок Ba$_x$Sr$_{1-x}$TiO$_3$ и скорости их осаждения от давления рабочего газа. В качестве примера рассмотрена возможность напыления пленок Ba$_x$Sr$_{1-x}$TiO$_3$ с линейным распределением состава по толщине.