Пробой тяжелых инертных газов импульсом электромагнитного излучения гиротрона частотой 1 THz

Проведено исследование газового разряда, инициированного излучением гиротрона частотой 1 THz. Рассчитаны пробойные кривые как для самостоятельного, так и для инициированного посредством предплазмы пробоя. Показано, что в случае принципиально импульсного пробоя с длительностью свыше нескольких микросекунд пороговое электрическое поле пробоя мало отличается от такового для пробоя непрерывным излучением. Также оценена возможность использования излучения терагерцевого гиротрона для создания и поддержания разряда в газовых мишенях на установках для фотолитографии в глубоком ультрафиолете.