Получение цветного наноструктурированного слоя аморфного кремния при травлении в хлорсодержащей плазме

Показано, что в режиме самоформирования в плазменном процессе травления аморфного кремния структур ($\alpha$-Si)/SiO$_2$/Si и ($\alpha$-Si)/Pt/SiO$_2$/Si в хлорсодержащей плазме (Cl$_2$/Ar) можно получить разноцветную поверхность из наноконусных и нанопроволочных структур $\alpha$-Si. Обсуждается механизм образования таких структур при плазмохимическом травлении. Приведены спектры отражения цветных пленок. Яркие цвета поверхности обусловлены резонансным отражением света в слоях наноконусных и нанопроволочных структур $\alpha$-Si с подслоем $\alpha$-Si нанометровой толщины.