RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Письма в Журнал технической физики // Архив

Письма в ЖТФ, 2023, том 49, выпуск 14, страницы 16–18 (Mi pjtf7027)

Выращивание монокристаллов $\beta$-Ga$_2$O$_3$ раствор-расплавным методом

А. А. Кицай, Ю. Г. Носов, А. В. Чикиряка, В. И. Николаев

Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия

Аннотация: Исследованы режимы выращивания кристаллов Ga$_2$O$_3$ из раствора оксида галлия в расплаве MoO$_3$ в процессе выпаривания MoO$_3$ при температуре 1050$^\circ$C. Показано, что при этой температуре кристаллическая фаза Ga$_2$O$_3$ находится в равновесии с расплавом MoO$_3$. В результате экспериментов получены монокристаллы $\beta$-Ga$_2$O$_3$ размером до 1.5 mm в поперечном сечении. Состав и структура кристаллов изучены методами рентгеновской дифракции и электронной микроскопии.

Ключевые слова: оксид галлия, рост кристаллов, широкозонный полупроводник.

Поступила в редакцию: 12.04.2023
Исправленный вариант: 12.04.2023
Принята в печать: 16.05.2023

DOI: 10.21883/PJTF.2023.14.55819.19589



Реферативные базы данных:


© МИАН, 2025