Воздействие плазмы N$_2$ на монослои дисульфида молибдена

На основании динамического моделирования квантово-механическим методом DFT выявлены основные процессы взаимодействия тепловых атомов N с поверхностью бездефектного монослоя MoS$_2$. Описаны возможные механизмы образования дефектов под действием ионов N$_2^+$ низкой энергии. Сделана оценка пороговой энергии ионов, необходимой для удаления серы.