Вакуумный (безгазовый) непрерывный магнетронный разряд с холодным плоским катодом-мишенью

Реализован непрерывный режим вакуумного (безгазового) магнетронного разряда с холодным плоским катодом-мишенью при остаточном давлении вплоть до 4 $\cdot$ 10$^{-3}$ Pa и токе разряда 8–12 А (120–200 mA/cm$^2$). Приведены результаты исследований масс-зарядового состава ионов плазмы, а также сравнение основных параметров разряда и скорости нанесения покрытий в вакуумном и газовом режимах.