Аннотация:
Рассмотрен метод нейтрализации поверхностных ловушек в структурах нитрид-галлиевых транзисторов с высокой подвижностью электронов (GaN HEMT), основанный на использовании поэтапного температурного воздействия – термотренировки. Проведены расчеты и экспериментальные исследования влияния ловушек на статические характеристики GaN HEMT, а также предложены эффективные способы борьбы с ловушками, в частности с помощью предлагаемых оптимальных режимов термотренировки.
Ключевые слова:
поверхностные ловушки, HEMT, GaN.
Поступила в редакцию: 12.09.2023 Исправленный вариант: 17.10.2023 Принята в печать: 17.10.2023