Влияние предварительной химической обработки на эффективность пассивации текстурированных кремниевых пластин

Исследовано влияние предварительной химической обработки поверхности методом RCA (Radio Corporation of America) и модифицированным методом Шираки на эффективное время жизни неравновесных носителей заряда перед пассивацией слоем аморфного гидрогенизированного кремния для кремниевых пластин, текстурированных с помощью различных методов травления, включая реактивное ионное травление с применением источника индуктивно-связанной плазмы и жидкостное травление. Показано преимущество модифицированного метода Шираки. Максимальное достигнутое значение эффективного времени жизни неравновесных носителей заряда для текстурированных реактивным ионным травлением с применением источника индуктивно-связанной плазмы пластин составило 400 $\mu$s, для пластин, текстурированных комбинированным жидкостным и ионным методом, – 500 $\mu$s.