Зондовая диагностика параметров индукционно-связанной плазмы, поддерживаемой в газовой смеси летучих галогенидов

Представлены результаты измерений локальной функции распределения электронов по энергиям в индукционном разряде, поддерживаемом в потоке летучих галогенидов при пониженном давлении. Использован подвижный электрический зонд с малым временем экспозиции в плазме, позволяющий существенно снизить эрозийное воздействие химически активной среды на электроды. Обсуждаются численные методы обработки вольт-амперных характеристик, позволяющие выделить особенности функции распределения электронов по энергиям в высокоэнергетической области.