Аннотация:
Проведено облучение кремниевых нанонитей ионами Ar$^+$ c энергией 250 keV и флюенсами от 10$^{13}$ до 10$^{16}$ cm$^{-2}$. Методом комбинационного рассеяния света исследована зависимость степени разупорядоченности структуры под действием ионного облучения от флюенса. Показано, что аморфизация пористого кремния происходит при больших значениях числа смещений на атом, чем в тонких пленках кремния.
Полный текст:
PDF файл (214 kB)