Исследование влияния содержания водорода на проводимость нанокристаллических алмазных пленок

Приводятся результаты исследования электропроводности нанокристаллических алмазных пленок толщиной 0.5–0.6 $\mu$m, выращенных на кремнии Si (100) методом плазмохимического осаждения из газовой фазы в смесях водорода и метана, водорода, метана и кислорода при их различном содержании. Методом нагрева в вакууме с использованием анализатора водорода АВ-1 определена концентрация водорода в выращенных в различных условиях пленках и установлена связь между содержанием водорода в пленках и их проводимостью. Показано, что высокотемпературная обработка, например, в вакууме при температуре 600$^\circ$C приводит к десорбции водорода из пленок и существенному возрастанию их сопротивления.