Г. В. Вознюк, И. Н. Григоренко, М. И. Митрофанов, В. В. Николаев, В. П. Евтихиев, “Субволновые текстурированные поверхности для вывода излучения из волновода”, Письма в ЖТФ, 2022, том 48, выпуск 6,страницы 51

Субволновые текстурированные поверхности для вывода излучения из волновода

Г. В. Вознюк^ab, И. Н. Григоренко^ac, М. И. Митрофанов^abd, В. В. Николаев^a, В. П. Евтихиев^ab

^a Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
^b Университет ИТМО, Санкт-Петербург, Россия
^c Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В. И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
^d Научно-технологический центр микроэлектроники и субмикронных гетероструктур РАН, Санкт-Петербург, Россия

Аннотация: Продемонстрирована технология создания текстурированных поверхностей методом ионно-лучевого травления сфокусированным пучком на подложках GaAs (100). Показана возможность гибкого управления формой и профилем формируемых субмикронных элементов текстурированных сред, что впоследствии позволит создать текстурированные поверхности практически любой сложности для реализации поверхностного вывода излучения из волновода. Разработаны оригинальные литографические шаблоны и проведена трехмерная литография. Контроль сформированных литографических рисунков осуществлялся методами оптической, электронной и атомно-силовой микроскопии.

Ключевые слова: ионно-лучевое травление, метаповерхность, текстурированная поверхность, литография, поверхностный вывод излучения.

Поступила в редакцию: 09.12.2021
Исправленный вариант: 12.01.2022
Принята в печать: 13.01.2022

DOI: 10.21883/PJTF.2022.06.52214.19103