Изучение эффективности теплоотвода композитных подложек “кремний на алмазе” для устройств на основе нитрида галлия

Выполнены термометрические измерения встречно-штыревых структур на основе нитрида галлия, созданных на композитных подложках “кремний на алмазе”. Проведено сравнение эффективности теплоотвода с аналогичной характеристикой в случае использования стандартной технологии “нитрид галлия на карбиде кремния”. Показано, что использование нового типа композитных подложек “кремний на алмазе” позволяет понизить температуру поверхности более чем на 50$^\circ$C по сравнению со случаем применения подложек карбида кремния при рассеиваемой мощности выше 7 W. Предложенный подход является перспективным для увеличения выходной мощности устройств на основе нитрида галлия, а также для увеличения их надежности.