Геометрическая форма областей разрушения в ходе скользящей наноиндентации тонких пленок Si–C–N, применяемых для Н/МЭМС

Области разрушения, возникающие в ходе скользящей наноиндентации такого технологически важного материала, как тонкие пленки SiCN, по геометрической форме напоминают лемнискату и кардиоиду. Оценочное значение прочности адгезии составило 9 GPa. Разрушение могло быть следствием двух различных режимов напряжений: один, касательный (тангенциальный), отвечает за разрушение материала в форме износа, а другой, аксиальный, отвечает за нарушение адгезии между пленкой и подложкой. Измерения по методу энергодисперсионной спектроскопии на участках с нанесенными царапинами показали полное разрушение адгезии.