Исследование оптических и фотокаталитических свойств пленок оксида титана разной степени окисления

Приведены результаты исследований оптических и фотокаталитических свойств пленок оксида титана, осажденных методом вакуумно-дугового испарения в кислородсодержащей атмосфере. Экспериментально показано, что в зависимости от величины потока поступающего в рабочую камеру кислорода при напылении формируются пленки разной степени окисления. Результаты исследований полученных пленок показали, что максимальной фотокаталитической активностью обладают пленки, полученные в переходном режиме между осаждением металлических пленок Ti и диэлектрических пленок TiO$_2$. Данный режим осаждения наблюдается при потоке кислорода в рабочую камеру от 9 до 12 cm$^3$/min.