Тонкие пленки оксинитрида титана для сенсоров широкого диапазона температур

Исследована температурная зависимость удельного сопротивления тонких пленок оксинитрида титана TiN$_x$O$_y$ с различным содержанием азота и кислорода, полученных методом атомно-слоевого осаждения. Обнаружено, что сопротивление всех пленок монотонно убывает с ростом температуры и меняется в широких пределах в зависимости от химического состава и толщины пленки. Представлена технология получения компактного температурного сенсора широкого диапазона температур (от гелиевых до комнатных) на основе TiN$_{0.87}$O$_{0.97}$ толщиной 40 nm. Данный сенсор может быть легко интегрирован в современные изделия микроэлектроники.