RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Письма в Журнал технической физики // Архив

Письма в ЖТФ, 2025, том 51, выпуск 4, страницы 11–14 (Mi pjtf7489)

Особенности кристаллизации промежуточного слоя кремния в процессе переноса тонкого слоя 3C-SiC(001) на 6H-SiC(0001)-подложку

А. В. Мясоедов, М. Г. Мынбаева, С. П. Лебедев, С. Ю. Приображенский, Д. Г. Амельчук, А. А. Лебедев

Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия

Аннотация: Рассматриваются особенности кристаллизации связывающего слоя кремния между слоем кубического карбида кремния с ориентацией (001) и гексагональной (0001) 6H-SiC-подложкой. Обсуждаются общие закономерности, выявленные при формировании ориентационных соотношений для слоя кремния относительно слоя 3C-SiC и подложки 6H-SiC.

Ключевые слова: карбид кремния, кремний, просвечивающая электронная микроскопия.

Поступила в редакцию: 04.10.2024
Исправленный вариант: 04.10.2024
Принята в печать: 14.10.2024

DOI: 10.61011/PJTF.2025.04.59835.20138



Реферативные базы данных:


© МИАН, 2025