Оптимизация параметров электрохимического травления для повышения добротности микрорезонаторов на основе пористого кремния

Продемонстрировано двукратное увеличение добротности микрорезонаторов на основе пористого кремния за счет применения градиента времен электрохимического травления, который компенсирует постепенное снижение скорости травления в процессе изготовления образцов. Полученные результаты позволят улучшить характеристики нанофотонных устройств на основе пористого кремния для применения в оптической связи и сенсорах для диагностики и мониторинга окружающей среды.