Мультифотонная микроскопия как способ контроля степени очистки структур нитевидных нанокристаллов кремния

Метод мультифотонной микроскопии является перспективным для контроля степени загрязнения и очистки твердотельных структур и микроструктур. Показано, что в отличие от стандартных методов сканирующей лазерной микроскопии метод мультифотонной микроскопии обеспечивает получение информации о локализации загрязнений на структуре нитевидных кремниевых нанокристаллов, а также позволяет качественно оценить степень ее очистки после проведения процедуры по очистке.