Синтез и структурные свойства преимущественно ориентированных пленок (Sr,Ba)Nb$_2$O$_6$ на поликоре

Исследовано влияние состава и давления рабочего газа на структурные свойства пленок ниобата стронция-бария, полученных высокочастотным магнетронным распылением на подложках поликристаллического оксида алюминия. Определены давление и соотношение кислорода и аргона в рабочем газе, при которых на поликоре формируется пленка с преимущественной ориентацией (00$l$). Это первая успешная попытка формирования преимущественно ориентированных пленок ниобата стронция-бария высокого структурного качества на поликристаллических подложках из оксида алюминия.