Сверхширокополосный фазовый модулятор на основе многомодового канального волновода на тонкопленочном ниобате лития

Разработаны и изготовлены экспериментальные образцы интегрально-оптических фазовых СВЧ-модуляторов на тонкопленочном ниобате лития с использованием подхода, в рамках которого оптический волновод модулятора формируется с большей шириной, чем требуется для обеспечения его одномодового режима работы, а возникающие в волноводе высшие моды подавляются при помощи электродов модулятора, расположенных близко к волноводу. Измерены характеристики изготовленных образцов модуляторов, продемонстрировано соответствие между результатами прямого электрооптического измерения рабочей полосы частот модуляторов и ее теоретической оценкой на основе измерений $S$-параметров электродов. Продемонстрирована эффективная СВЧ-модуляция оптического излучения в полосе частот более 30 GHz при значении параметра $U_\pi L$ на уровне 4 V $\cdot$ cm.