RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Письма в Журнал технической физики // Архив

Письма в ЖТФ, 2025, том 51, выпуск 9, страницы 35–37 (Mi pjtf7568)

Горячие углеродные наночастицы в объеме плазмы при плазмохимическом осаждении алмазных пленок

Е. А. Кирилловab, П. В. Минаковa, Д. В. Лопаевa, А. Т. Рахимовab

a Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова, Научно-исследовательский институт ядерной физики им. Д. В. Скобельцына
b Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова

Аннотация: Показано, что возникновение непрерывного планковского спектра в эмиссионном спектре СВЧ-плазмы (при плазмохимическом осаждении алмазных пленок) может быть связано с образованием углеродных наночастиц в ее объеме. По спектру, зарегистрированному в ближнем инфракрасном диапазоне длин волн, определена температура этих частиц $\sim$ 2600 $\pm$ 100 K. Полученные результаты указывают на возможность существования углеродных наночастиц в горячей зоне плазмы.

Ключевые слова: CVD-алмаз, плазмохимическое осаждение, углеродные наночастицы, спектроскопия плазмы.

Поступила в редакцию: 16.12.2024
Исправленный вариант: 20.12.2024
Принята в печать: 16.01.2025

DOI: 10.61011/PJTF.2025.09.60230.20225



Реферативные базы данных:


© МИАН, 2025