Влияние скорости лазерной обработки на кристаллизацию кремния в двухслойной структуре алюминий/кремний на гибкой полиимидной подложке

Исследовано влияние скорости обработки инфракрасным импульсным лазерным излучением двухслойной тонкопленочной структуры алюминий/кремний на гибкой полиимидной подложке на ее состав, кристаллическую структуру и морфологию поверхности. Для этого сформировано несколько линий со скоростями перемещения лазера 100–300 mm/s. Образцы изучались методами комбинационного рассеяния света, энергодисперсионного анализа и атомно-силовой микроскопии. Проведенное комплексное изучение обработанных участков позволило выделить до семи областей, различающихся структурой кремниевого слоя. В результате исследований выявлены полностью кристаллизованные и содержащие в себе смесь кристаллической и аморфной фазы области.